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粒子計數器在潔凈室領域中的檢測作用

2019-10-22 13:50:00   責任編輯: 鉅宏股份    0

潔凈室等級標準

潔凈室等級標準和國際標準ISO 14644一樣,都是根據懸浮粒子濃度這個唯一指標來劃分潔凈室(區)及相關受控環境中空氣潔凈度的等級,并且僅考慮粒徑限值(低限)在0.1um~5.0um 范圍內呈累積分布的粒子群。根據粒子徑,可以劃分為常規粒子(0.1um~5.0um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。

ISO/DIS 14644-1 潔凈室和潔凈區按空氣中懸浮粒子濃度的分級

ISO分級

潔凈室及潔凈區空氣中懸浮粒子潔凈度等級

潔凈度等級

潔凈室的領域劃分

潔凈室的劃分是以單位體積內所含灰塵數來計算的,數目越小表示潔凈等級越高,一般每一級的劃分都有不同直徑灰塵數的要求,比如一般藥廠、汽車4s店,十萬級或萬級就夠了,但這對電子行業(尤其是微電子行業)僅僅是最低要求,比如半導體行業等級要求最低的測試間一般都不能高于1萬級。下面我們通過工業無塵室詳細了解一下。

依據美國聯邦政府頒布的標準,可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級,如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述,則可假設塵粒的尺寸為0.5m,例如,1級、10級、100級無塵室最大塵粒數目分別小于或等于1顆、10顆、100顆。并且通過FS209E標準劃分,每立方英尺里面允許含有最多的0.5微米塵埃粒子的數量就是潔凈室的等級,比如每立方英尺允許含有最多1000個0.5微米的例子,那么這個潔凈室就是千級,如果是10000個粒子就是萬級,總共是從一級,十級,百級,千級,萬級到百萬級;工業無塵室主要控制無生命微粒對工作對象的污染,其內部一般保持正壓,它適用于精密工業、電子工業、航天工業、化學工業、印刷工業等部門。工業無塵車間只要控制參數是溫度、濕度、風速、流場、潔凈度。因此為了滿足凈化車間內的潔凈度及熱濕平衡,需要較大的送風量,300平方米的車間,高度為2.5米,如果是萬級,就需要300×2.5×30=22500m3/h的送風量(換氣次數是≥25次/h);如果是十萬級,送風量就需要300×2.5×20=15000m3/h(換氣次數是≥15次/h)。此外為保持無塵室的潔凈度,進出的人員有一定的穿著規定;10000與100000級,必須穿著長袍無塵衣、無塵鞋、戴帽子與面罩;1000級(含)以上,需穿著特殊的潔凈連身衣、無塵鞋將全身裹住,并戴上手套和面罩。所以每間潔凈室都配有高效空氣顆粒物 (HEPA) 過濾器,防止空氣傳播生物與病毒生物的傳播。過濾器還采用了正壓設計,將未過濾的空氣隔離在房間外部,同時風淋室可在工作人員與產品進入房間前去除沾染的顆粒物。潔凈室的審核維護流程包括對微生物的計數,確保符合潔凈度和生物負載水平的要求。

潔凈室等級要求

為保證潔凈室及相關環境達到受控標準,對其基本的空氣熱濕處理設備、空氣凈化設備、空氣動力設備、空氣分布系統、冷熱源設備、高效送風口、凈化工作臺、潔凈單元、風淋室、傳遞窗及微環境以及潔凈服、潔凈手套、口罩、清潔用品等也有特殊要求。但是在潔凈度標準方面并沒有說明潔凈室的物理特性、化學特性、放射特性或懸浮粒子的

眾所周知粉塵檢測儀和粒子計數器雖然都可以用光散射法原理,但是粒子計數器是用于潔凈室里,而粉塵儀主要是用來測大氣環境。為什么會這樣呢?我們可以通過兩種光散射的原理來判斷。粉塵檢測儀通過采氣泵將待測氣溶膠吸入檢測艙,待測氣溶膠在分支處分流成為兩部分,一部分經過一個高效過濾器后被過濾為干凈的空氣,作為保護鞘氣來保護傳感器室的元器件不受待測氣體污染。另一部分氣溶膠,作為待測樣品直接進入傳感器室。傳感器室中,主要元器件為激光二極管、透鏡組和光電檢測器。檢測時,首先由激光二極管發出的激光,通過透鏡組形成一個薄層面光源。薄層光照射在流經傳感器室的待測氣溶膠時,會產生散射,通過光電探測器來檢測光的散射光強。光電探測器受光照之后產生電信號,正比于氣溶膠的質量濃度。然后乘以電壓校準系數,這個系數通過測定特定濃度的氣溶膠來得到。通常用來做標定的測試氣溶膠是亞利桑那試驗粉塵(或ISO12103-1,A1試驗粉塵)。

粒子計數器原理:粒子計數器通過采樣泵抽取采樣氣體,在激光室中,通過激光照射采樣氣體,顆粒反射出來的閃光的頻率,代表顆粒的數量,反射的光強,代表顆粒的粒徑大小,激光室中的元器件,沒有鞘氣保護。

手持式粒子計數器

為了更好的檢測潔凈室內的懸浮粒子工釆網提供的美國AIRY 手持式粒子計數器 - Model P611用于測量流速在0.1 CFM (2.83 LPM) 粒徑為0.3~ 10m 的粒子。本手持式粒子計數器僅重1.26 lb (0.57 kg), 設計人性化且設置簡單。可在其3.5”LCD彩屏к同時顯示6個尺寸通道的數據,也可顯示溫度和相對濕度(可選)。同時P611 能存儲多達 10,000條的采樣記錄,可在本設備或通過USB數據線在電腦上查看數據記錄。 P611符合 ISO 21501-4 ,質保2年。P611品質優良,性能可靠,是專業人員驗證ISO潔凈室(級別5~9)和調查室內空氣質量問題的最佳產品解決方案。

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