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潔凈室的防排煙防微振等問題

2019-10-17 10:45:00   責任編輯: 鉅宏股份    0

1、潔凈室的防排煙問題

潔凈室的防排煙問題專業設計人員和消防主管部門共同協商確定。由于目前尚缺乏具體的設計規范,僅能參照普通建筑或高層建筑防水排煙規范并結合生產工藝的特殊性作設計方案。即采用所謂性能化防火設計,許多國家都允許在消防設計中采用此設計方法。該方法的主要特點是容許有一點靈活性和強調能實現的使用目的,例如:延長可用于救災的時間、減少人員逃生所需要的時間、系統的高可靠性、優化和節約投資等。這樣的設計在前期要投入一定的科研,如運用相關的數學模型(如火災模型、人群疏散模型等)及CFD技術等。

2、防微振問題

對于高級別半導體生產廠房微振動會影響產品成品率,所以在建筑、結構上采用

了大量措施,甚至采用了主動抗振裝置等。凈化空調系統本身設備及氣流引起的振動控制也必須十分重視。

3、防靜電問題

由于潔凈室內較低的相對濕度及大量使用絕緣材料,很容易產生靜電集聚。靜電會導致產品與設備表面的微粒污染,并損壞耐壓較低的電子元件。防靜電的主要方式有將導體接地、采用靜電保護罩及使用空氣離子發生器等。

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